El doble - limpiador de pulido mecánico de lados (limpiador SIC después de - DMP) presenta calentamiento automático, un dispositivo de circulación de temperatura constante, un dispositivo de limpieza ultrasónico, un dispositivo de sobremesa de burbuje de descarga rápido - y un dispositivo de sobretensión de burbujeante de descarga y un sistema de control eléctrico y un sistema de control eléctrico. Sus funciones están controladas por PLC e incluyen tiempo de limpieza ajustable, aviso de finalización de limpieza, ajuste de control de temperatura, alarmas de nivel de líquido alto y bajo, protección de desbordamiento y alarma de detección de fugas.
Parámetros del producto
1. Flujo de producción:
Carga (manual) → QDR tanque → de tanque → agente de limpieza ultrasónico Tanqu que
2. Materiales principales:
Marco de metal: SUS 304
Ice - tablero de crema PP
Material del tanque: PPN + SUS 316
3.Transportación:
Manual
Características y aplicaciones del producto
Elimina la suspensión residual y las partículas más grandes de la superficie de las obleas SiC después del doble - procedimiento de pulido mecánico de lados.
Detalles del producto
◆ 1.Capacidad:
Casete de 6 "× 1 (25 PC)
Casete de 8 "× 1 (25 PC)
◆ 2. Tiempo de lote de limpieza:
Menos de o igual a 1 por lotes/10 min (el tiempo de procedimiento de limpieza es ajustable).
Escenarios de aplicación
◇ En octubre de 2024, el Cleaner Sic después de - DMP fue comisionado y comenzó a funcionar en el sitio del cliente para el semiconductor de Tiancheng.
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